论文
基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作
第一作者: | 刘梦伟 |
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英文第一作者: | Liu Mengwei |
联系作者: | 刘梦伟 |
英文联系作者: | Liu Mengwei |
发表年度: | 2008 |
卷: | 27 |
摘要: | 硅微传声器是声学微机电系统(AMEMs)的重要组成部分.主要分为电容式微传卢器和压电式微传声器,目前,电容式微传声器已经走向产qE化。与电容式相比,压电式微传声器具有很多优点,它不需电容微传声器的偏置电压,从而不需Dc.Dc集成电路,相对电容式微传声器,压电式徽传声器的微加工工艺流程简单,因此压电式将比电容式具有更好的实用价值,但是其关键指标灵敏度还较低。目前国内扑研究的硅擞雎电传声器主要采用由压电zn0薄膜、弹性支撑薄膜构成的振动膜片的弯曲振动模式工作【I1】,印利用zm0薄膜在横向极化下纵向振动的工作模式,对应相关的压电常数为dⅢ以下简称为m。模式。由于压电材料的压电常数d”通常比如.丈一倍左右.率文设计并制作了一种基于压电P玎薄膜压电常数d。工作的压电微传声器,印利于哪薄膜在 纵向振动模式工作,蚍下简称为如模式。受到湿法体硅微加工工艺的限制.大多数压电微传声器的振动膜采用方形结构.为了提高压电传声器的灵敏度和成品率,本文设计了具有环形叉指电极和圆形振动模的微结构, |
刊物名称: | 声学技术 |