论文
应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性
| 第一作者： | 汤亮 |
|---|---|
| 英文第一作者： | Li Junhong |
| 联系作者： | 汤亮 |
| 英文联系作者： | Li Junhong |
| 发表年度： | 2008 |
| 卷： | 14 |
| 摘要： | 采用直流磁控溅射的方法制备了 ZnO压电薄膜 ,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器。X射线衍射结果显示 ZnO压电薄膜 C轴择优取向明显 ,衍射峰半高宽为011624° ,显示出较好的结晶质量;扫描电镜分析观察到 ZnO垂直于基片表面的柱形晶粒结构和较平滑的薄膜表面。体声波器件的电学测试结果显示器件具有很好的多模谐振特性 ,说明 ZnO压电薄膜很好地激发出了厚度方向的纵声波 ,可应用于体声波器件和声表面波器件中。另外采用间接的方法得到 ZnO压电薄膜在 870MHz时的介电常数约为 5 . 24,介电损耗因子为 1 . 07,进一步减小介电损耗因子 ,可以提高器件的 Q值。 关键词 :氧化锌薄膜;压电;磁控溅射; X射线衍射;体声波谐振器 |
| 刊物名称： | 功能材料与器件学报 |