论文
微麦克风读出电路的设计和仿真
第一作者: | 齐敏 |
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英文第一作者: | Qi Min |
联系作者: | 齐敏 |
英文联系作者: | Qi Min |
发表年度: | 2008 |
卷: | 27 |
摘要: | MEMS工艺提供了在微小硅片上加工禽有复杂功能集成系统的能力,由于其体积小、成本低、产量高等优势,近年来醚£蓊徽传感器得囊了迅速酌发展,并为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战。本文系统地分析了制约电容式微麦克风高精度读出电路设计豹主要园素,会绥了一季孛读出电路结构,并对其主要设计参数进行了分析对比。由于MEMS传感器的结构微小,容易受到各种噪声和环境的干扰,提高分辨攀是淹澄读窭电路设计靛重点 |
刊物名称: | 声学技术 |