论文
ZnO thin film piezoelectric micromachined microphone with symmetric composite vibrating diaphragm
| 第一作者： | 李俊红 |
|---|---|
| 英文第一作者： | JunHong Li |
| 联系作者： | 李俊红 |
| 英文联系作者： | JunHong Li |
| 发表年度： | 2017 |
| 卷： | 26 |
| 刊物名称： | Smart Materials and Structures |