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Design and Fabrication of a MEMS Lamb Wave Device Based on ZnO Thin Film
第一作者： 刘梦伟
英文第一作者： LIU Mengwei
联系作者： 刘梦伟
英文联系作者： LIU Mengwei
发表年度： 2011
卷： 4
摘要：
刊物名称： Chinese Journal of Semiconductors
参与作者：