论文
一种电致伸缩薄膜材料的试制
第一作者: | 温建强 |
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英文第一作者: | Wen Jianqiang |
联系作者: | 温建强 |
英文联系作者: | Wen Jianqiang |
发表年度: | 2008 |
卷: | 27 |
摘要: | 在过去的几十年里,铁电薄膜在制备和理论研究方面取得了很大的发展,其研制成果在非挥发铁电存储、热释电红外探测、非线性光学等技术领域获得了广泛的应用。近年来在MEMS技术快速发展的需求牵引下,不断发展和完善高性能功能薄膜制备的基础性研究显得尤其重要[1]。电致伸缩材料是一种重要的大应变量功能材料,美国学者Cmss和日本学者内野研二率先研制了PMN基电致伸缩材料,在1MV/m的偏置电场下诱导的最大相对应变量达到0.1%,其能量密度可以达到22.5Ⅺ/m2,常规的PZT-8压电材料大一个数量级。很显然制作基于电致伸缩材料的薄膜有可能为高性能的MEMS器件提供新的设计途径,有重要的理论和应用意义。本文尝试采用球磨的PMN基电致伸缩材料超细粉体的方法来制作薄膜,通过添加适量的有机溶剂,利用旋涂法来沉积PMN基的电致伸缩薄膜。实验表明,这种制膜方案是有可能性的。 |
刊物名称: | 声学技术 |