论文
背极板刚度对硅微电容传声器性能的影响
第一作者: | 何庆 |
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英文第一作者: | He Qing |
联系作者: | 何庆 |
英文联系作者: | He Qing |
发表年度: | 2008 |
卷: | 27 |
摘要: | 本文采用等效电路模型对硅微电容传声器建模,在该模型的基础上进行理论分析和数值计算,讨论了背极板应力对硅微电容传声器性能的影响。结果表明,背极板刚度与振膜刚度可比拟时,会使传声器灵敏度有所降低;背极板刚度对高频灵敏度的影响大于低频;降低空气隙的粘滞阻尼有助于减小背极板刚度造成的影响。 |
刊物名称: | 声学技术 |