论文
ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制
| 第一作者： | 汤亮 |
|---|---|
| 英文第一作者： | Li Junhong |
| 联系作者： | 汤亮 |
| 英文联系作者： | Li Junhong |
| 发表年度： | 2008 |
| 卷： | 30 |
| 摘要： | 采用射频网络法分析了 ZnO 薄膜体声波谐振器的谐振特性 ,并考虑了介质声损耗对品质因数 Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了以 ZnO 薄膜为压电膜的薄膜体声波谐振器 ,并对器件的性能进行了测试。将实验与理论分析结果进行对比 ,发现实验器件的谐振频率与理论值一致 ,但器件 Q值却比理论值低,进一步的分析揭示了实际器件 Q值偏低的原因。 关键词:滤波器;双工器;振荡器;射频微机电系统;薄膜体声波谐振器 |
| 刊物名称： | 压电与声光 |