论文
ST-X石英基片上铬栅阵中单根栅条反射系数实验研究
第一作者: | 王一骝 |
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英文第一作者: | Wang Yiliu |
联系作者: | 何世堂 |
英文联系作者: | Wang Yiliu |
发表年度: | 2008 |
卷: | 27 |
摘要: | 精确的栅条反射系数对于声表面波器件的设计至关重要。本文利用网络分析仪的时域功能,采用短脉冲方法实验研究了ST—X石英基片上铬栅阵中单根栅条的反射系数。并推导出计算反射系数的公式。实验测量了不同铬膜厚度条件下单根指条的反射系数,再对实验结果作最小方差法拟合,得到反射系数随铬膜厚度变化的表达式,即反射系数中压电短路贡献和铬的力学负载贡献之和。最后将实验结果与采用有限元方法计算的理论结果比较,发现两者基本吻合。 关键词:反射系数,栅条,短脉冲法 |
刊物名称: | 应用声学 |