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论文题目
基于PZT薄膜的微压电超声换能器研究
论文题目（英文）
Micromachined ultrasonic transducers based on lead zirconate titanate (PZT) films
作者
李俊红
发表年度
2013
卷
19
期
页码
211-218
期刊名称
Microsystem Technologies
摘要
摘要_英文
