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论文题目
基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究
论文题目(英文)
MEMS Piezoelectric Microphone with Circular Diaphragm
作者
李俊红
发表年度
2012
卷
48
期
18
页码
85-88
期刊名称
机械工程学报
摘要
摘要_英文