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论文题目  基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究 
论文题目(英文) MEMS Piezoelectric Microphone with Circular Diaphragm 
作者 李俊红 
发表年度 2012 
48 
18 
页码 85-88 
期刊名称 机械工程学报 
摘要  
摘要_英文