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论文题目
基于LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层膜片结构的MEMS弯曲板波器件设计与制作
论文题目（英文）
Design and Fabrication of A MEMS Flexural Plate Wave Device Based on LTO/ZnO/LTO/Si3N4 Multilayered Composite Membrane
作者
薛明鑫
发表年度
2012
卷
期
503
页码
29-34
期刊名称
Key Engineering Materials
摘要
摘要_英文
