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论文题目
Design and Fabrication of a MEMS Lamb Wave Device Based on ZnO Thin Film
论文题目（英文）
Design and Fabrication of a MEMS Lamb Wave Device Based on ZnO Thin Film
作者
刘梦伟
发表年度
2011
卷
4
期
32
页码
78-82
期刊名称
Chinese Journal of Semiconductors
摘要
摘要_英文
