科研成果
概况介绍
获奖
论文
学术报告
专著
专利
您现在的位置：
首页
>
科研成果
>
论文
论文题目
基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器
论文题目（英文）
A Low Residual Stress Diaphragm Piezoelectric Microphone Based on In-plane Polarized PZT Thin Film
作者
刘梦伟
发表年度
2011
卷
4
期
9
页码
340-344
期刊名称
纳米技术与精密工程
摘要
摘要_英文
