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论文题目
差分电容MEMS加速度传感器仿真模型
论文题目（英文）
A simulation model for differential capacitive MEMS accelerometer
作者
孙泉
发表年度
2011
卷
30
期
4
页码
356-358
期刊名称
声学技术
摘要
摘要_英文
