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论文题目
不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究
论文题目（英文）
Thickness Effect on Microstructure and Stress Properties of ZnO Films Deposited by DC Magnetron Sputtering
作者
李俊红
发表年度
2009
卷
31
期
2
页码
234-236
期刊名称
压电与声光
摘要
摘要_英文
