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论文题目
单晶硅电容式低频传声器的设计和制作
论文题目(英文)
Design and Fabrication of a Low-Frequency Condenser Microphone with a Single-Crystal Silicon Diaphragm
作者
何庆
发表年度
2009
卷
28
期
4
页码
127-130
期刊名称
声学技术
摘要
摘要_英文