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论文题目
硅微电容式超声换能器谐振频率的有限元分析
论文题目（英文）
Analysis of the resonant frequency of capacitive micro-machined ultrasonic transducer(cMUT)with finite element method
作者
郝震宏
发表年度
2009
卷
28
期
4
页码
133-134
期刊名称
声学技术
摘要
摘要_英文
