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论文题目
基于ZnO压电薄膜的弯曲振动硅微压电超声换能器的研究
论文题目（英文）
Development and analysis of piezoelectric flexural micro-machined ultrasonic transducers base on ZnO film on silicon substrate
作者
郝震宏
发表年度
2009
卷
35
期
1
页码
1-8
期刊名称
声学学报
摘要
摘要_英文
