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论文题目
支持层结构对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响
论文题目（英文）
Influence of Support Structure on the Resonant Properties of FBAR
作者
汤亮
发表年度
2009
卷
28
期
4
页码
178-181
期刊名称
声学技术
摘要
摘要_英文
