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| 论文题目 |
氧化锌薄膜体声波谐振器的研制 |
| 论文题目（英文） |
Development of A Film Bulk Acoustic Resonator Based on ZnO |
| 作者 |
汤亮 |
| 发表年度 |
2008 |
| 卷 |
4 |
| 期 |
2 |
| 页码 |
57-30 |
| 期刊名称 |
微细加工技术 |
| 摘要 |
介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程。该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料 ,通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振器的支持层。为了避免残余应力引起的支持层起皱现象,采用氮化硅/二氧化硅/氮化硅复合膜作为支持层。采用直流磁控溅射的方法制备氧化锌压电薄膜，X射线衍射结果显示,氧化锌压电薄膜 C 轴择优取向明显 ,衍射峰半高宽为012273°,显示出较好的结晶质量;扫描电镜观察到氧化锌垂直于薄膜表面的柱形晶粒结构,薄膜表面平整、致密。采用 HP8753D射频网络分析仪对该薄膜体声波谐振器样品进行了测试,结果表明,谐振器具有明显的厚度伸缩振动模式 ,其基频在750 MHz左右 ,二次谐频在115 GHz左右。进一步提高氧化锌压电薄膜的性能,该谐振器可用于射频振荡源和射频前端滤波器中。
关键词:薄膜体声波谐振器;振荡器;滤波器;双工器;射频微机电系统 |
| 摘要_英文 |
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