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| 论文题目 |
消除次声传感器一致性误差的方法研究 |
| 论文题目（英文） |
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| 作者 |
郭泉 |
| 发表年度 |
2008 |
| 卷 |
27 |
| 期 |
5 |
| 页码 |
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| 期刊名称 |
声学技术 |
| 摘要 |
次声普遍存在于自然界孛，例如地震、火由运动、海啸、台风都日f以产生强次声，因此次声检测技术常常被用作预防和研究灾害性天气的手段，电
容式次声传感器也是羧主要的捻测仪器。电容式次声传感器的一致性误差是一个关键的指标。由于次声波长很长，传感器头电容振动膜片的直径较大(大予l。5英寸)，很难通过镀膜技术制作大直径膜片。与之不同的是音频声传声器由予其头电容悫径小，可采用真空脱胎镀膜技术制作出高一致性的头电容膜片。本文提出了一种消除电容式次声传感器一致性误差的改进方法。改进了次声传感器头电容结构，可以通过调节膜片张力以调节传感器灵敏艘，荠使耀静电激励器检测法实现对张力的检测，使得多个传感器膜片具有相同张力以提高一致性。 |
| 摘要_英文 |
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