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论文题目
ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析
论文题目(英文)
作者
汤亮
发表年度
2007
卷
26
期
5
页码
81
期刊名称
声学技术
摘要
本文利用一维Mason等效电路模型对基于znO的固态装配型谐振器进行了模拟分析。结果表明,采用siO<,2>/Si<,x>N<,y>作为反射栅材料时,当反射栅对数在六对以上时,才能完全抑制来自于衬底谐振的杂散模式。
摘要_英文